Высоко-точное, сверх-решение для нанесения тонких пленок для вакуумных-герметичных сред

Высоко-точное, сверх-решение для осаждения тонких пленок для вакуумных-герметичных сред

 

В высокотехнологичных-областях производства, таких как осаждение тонких полупроводниковых пленок, прецизионные оптические покрытия и новые функциональные покрытия с использованием энергии, традиционные процессы напыления, работающие в атмосферных условиях, не могут удовлетворить требования к высокой-точности и-чистоте тонких пленок. Технология вакуумного фланцевого ультразвукового распыления с частотой 60 кГц, основанная на принципе высокочастотного ультразвукового распыления и в сочетании с специально разработанной-системой подачи впрыскивающего насоса, обеспечивает стабильное и точное распыление в полностью вакуумной-герметичной среде, полностью избегая атмосферных помех. Это стало основным технологическим решением для вакуумной подготовки тонких пленок и обработки микро/нано покрытий, подходящим для различных комплексных производственных и экспериментальных сценариев исследований и разработок в вакуумных камерах.

 

I. Основной принцип технологии: вакуумный-адаптивный высокочастотный-механизм ультразвукового распыления.

60 кГц – предпочтительный диапазон высоких-частот для промышленного прецизионного распыления. По сравнению с низкочастотным-ультразвуковым распылением с частотой 20 кГц и 40 кГц этот диапазон обеспечивает более высокие частоты вибрации и более высокую точность распыления. Благодаря высокочастотной механической вибрации-жидкие покрытия, растворы прекурсоров, функциональные суспензии и другие среды могут быть разорваны на сверхмелкие капли одинакового микронного-размера. Концентрированный размер капель и низкая дисперсия закладывают основу для формирования однородной пленки. В отличие от обычного оборудования для ультразвукового распыления открытого-типа, в этой технологии используется вакуумная фланцевая-герметичная конструкция конструкции, что позволяет отказаться от традиционного режима распыления газа-носителя сжатым воздухом. Поскольку в процессе процесса не участвует газ-носитель, он практически исключает нарушение воздушного потока в среде вакуумной камеры и идеально адаптируется к условиям вакуумной -герметизации.

 

Центральное сопло оборудования плавно соединяется с вакуумной камерой через стандартный вакуумный фланец. Общая герметичная архитектура адаптируется к условиям вакуума в диапазоне от 13 Па до 133 Па. Даже в условиях отрицательного давления внутри камеры он поддерживает стабильную высокочастотную-вибрацию без утечек, затухания распыления или дисбаланса давления. В вакууме на ультрамелкие капли не влияет сопротивление воздуха и окисление, они равномерно и устойчиво осаждаются на поверхность подложки. Распределяемость капель значительно улучшается, образуя плотное, однородное,-сверхтонкое функциональное покрытие без микропор, решая отраслевые проблемы дисперсии капель, окислительной агломерации и неравномерной толщины пленки, возникающие при распылении в атмосфере.

 

II. Основные преимущества системы: возможности прецизионного распыления, адаптированные к условиям вакуума.

1. Полная адаптируемость к вакууму, чрезвычайно высокая чистота процесса.
Вся система имеет фланцевую-герметичную интегрированную конструкцию без конструкции внешнего воздухозаборника, что позволяет полностью адаптировать ее к герметичной рабочей среде вакуумной камеры. Он может завершить весь процесс распыления в условиях высокого вакуума. В вакуумной среде нет влияния кислорода, пыли или водяного пара, в результате чего покрытия не содержат окислительных примесей и остатков частиц, что значительно повышает чистоту и стабильность функциональных пленок. Это идеально подходит для производственных сценариев с высокими требованиями к чистоте, таких как полупроводники, прецизионная оптика и биомедицина. В то же время оборудование совместимо с различными стандартными вакуумными камерами, поддерживает модульную интеграцию, легко устанавливается и обладает высокой совместимостью, что позволяет напрямую подключаться к последующим процессам, таким как вакуумное осаждение и вакуумный отжиг.

 

2. Превосходная точность распыления, превосходная однородность покрытия.
Высокочастотное ультразвуковое распыление с частотой 60 кГц-обладает чрезвычайно высокой стабильностью распыления, создавая сверхмелкие капли с однородным размером частиц и высокой консистенцией. В сочетании со специальным впрыскивающим насосом для точной подачи жидкости с постоянным-потоком он полностью исключает аномалии распыления, вызванные колебаниями подачи жидкости. Окончательное покрытие достигает однородности, превышающей 95%, при этом толщина пленки точно контролируется на уровне нанометра и микрометра. Покрытие плотное, гладкое, без апельсиновой корки и дырочек. По сравнению с традиционными процессами распыления и центрифугирования качество и консистенция пленки значительно улучшаются, что делает ее особенно подходящей для ультра-тонких функциональных покрытий и точного микро-напыления.

 

3. Широкие возможности адаптации к средам и высокая управляемость процесса. Благодаря высокочастотному-распылению 60 кГц и специально разработанной-системе регулируемого потока со шприцевым насосом оборудование адаптируется к различным жидким средам, включая водные растворы, растворы алкоксидов, проводящие чернила, фоторезисты, нано-суспензии и растворы полимеров. Стабильного распылительного распыления можно добиться как с помощью следовых реагентов с низкой-вязкостью, так и с функциональными суспензиями со средней-вязкостью. Система поддерживает интеллектуальное управление формулами с помощью сенсорного экрана, сохраняя несколько наборов параметров процесса распыления. Запуск процесса распыления одним-нажатием позволяет точно контролировать траекторию распыления, скорость подачи жидкости, мощность распыления и параметры вакуума. Этот процесс демонстрирует чрезвычайно высокую повторяемость, что делает его пригодным как для массового производства, так и для лабораторных исследований.

 

4. Чрезвычайно низкие потери, энергоэффективность.
Ультразвуковое распыление основано на высокочастотной-вибрации, обеспечивающей распыление без давления. В сочетании с точным впрыскивающим насосом для подачи жидкости коэффициент использования покрытия намного выше, чем при традиционном пневматическом распылении, практически без разброса капель или отходов, что приводит к чрезвычайно низким потерям материала. При этом оборудование отличается низким общим энергопотреблением и стабильной работой. Режим работы с вакуумной-герметизацией исключает необходимость последующих процессов удаления пыли и примесей, упрощая производственный процесс, значительно повышая его эффективность и сокращая затраты на производство и исследования и разработки.

 

III. Основные сценарии применения
Используя свои основные преимущества, такие как вакуумная герметизация, высокая точность, высокая чистота и высокая управляемость, интегрированная система ультразвукового распыления с вакуумным фланцем 60 кГц + индивидуальный впрыскивающий насос широко используется в высокоточных производственных областях. В новой энергетической отрасли его можно использовать для распыления слоев катализатора топливных элементов, нанесения тонкопленочных функциональных слоев солнечных элементов и подготовки функционального покрытия сепараторов литиевых батарей; в полупроводниковой и электронной промышленности он подходит для микро-покрытия микросхем, влагозащитного изолирующего покрытия- печатных плат и процессов прозрачного покрытия оптоэлектронных компонентов; в области прецизионной оптики компания может изготавливать оптические анти-антиотражающие пленки, анти-отражающие пленки и защитные износостойкие-пленки; в биомедицинской области он подходит для высокоточных задач, таких как функциональное покрытие микрофлюидных чипов и подготовка пленок биосенсоров.

 

IV. Техническое описание Технология вакуумного фланцевого ультразвукового распыления с частотой 60 кГц в сочетании с преимуществами точной подачи жидкости специального вакуумного инжекторного насоса -класса устраняет узкие места традиционных процессов распыления в вакуумной среде, обеспечивая прецизионный процесс распыления, характеризующийся вакуумной герметизацией, высокой точностью, высокой чистотой и низкими потерями. Эта интегрированная система устраняет зависимость от газа-носителя, герметична для адаптации к условиям вакуума и обеспечивает точный контроль как над распылением, так и над подачей жидкости. Он идеально соответствует технологическим требованиям высококачественной-подготовки тонких пленок и прецизионных микро/нанопокрытий, заполняя технологический пробел в тонкодисперсном распылении в условиях вакуума. Это незаменимое решение для основного технологического оборудования в области высокоточного-точного производства, а также исследований и разработок новых материалов. В будущем границы его применения будут продолжать расширяться в высокотехнологичных-отраслях, таких как полупроводники, новая энергетика и прецизионная оптика.